成膜

どうもゆうかです。 薄膜製作においてスパッタリング法を学ばない人はいないでしょう。 再現性が高く、比較的均一な膜が作れるスパッタリング法ですが、原理はどうなっているのでしょうか？ 今回はスパッタリング法に関して原理を解説...